三通道膜厚监测仪M53是一款可以在线式监测薄膜沉积厚度的2U机架款多通道膜厚探测仪，膜厚探测精度达0.01nm，仅需输入材料密度、声阻抗、Tooling值就可以探测任意材料的沉积厚度，其采用石英晶体震荡的压电陶瓷效应，可以精确识别1Hz的频率变化。其含有485通信接口，还可以将膜厚信息通信输出进行深度复杂控制。其默认配置振荡器内置，从机器至探头距离不超过1.4米，可定制版本振荡器外置，机器至探头距离可达20米。其默认配置含有三个通道，可同时独立监测三个通道上的膜厚沉积，可根据需要拓展至最多20通道。