真空蒸镀机M400是一款腔体空间大、占地空间小的紧凑型热蒸发镀膜机，其最大可镀膜直径350mm，标准配置含有三个热蒸发镀膜位，还有四个可拓展CF35接口，可以进行更多的蒸发位定制，蒸镀电流值可达0-100A。真空抽速自开机10min内可达10-3Pa，膜厚探测精度可达0.01nm，镀膜速率可精确控制到0.1nm/s以下，膜厚不均匀性低于3%（100*100mm面积内）。